[实用新型]一种液晶显示器玻璃基板蚀刻设备

摘要

本实用新型公开了一种液晶显示器玻璃基板蚀刻设备，其蚀刻箱体的内部设置蚀刻腔室、缓冲腔室以及搭肩，缓冲腔室的底部配装至少两条进液管，蚀刻腔室与缓冲腔室之间装设上导流板和下导流板，上导流板的上导流孔的直径较下导流板的下导流孔的直径小，蚀刻腔室内装设固定支撑架和超声波振动板。缓冲腔室能起缓冲作用，其中，下导流板和上导流板对进入蚀刻腔室内的蚀刻剂进行二次导流处理，且蚀刻剂最终被上导流孔分成多股细小的蚀刻剂流且均匀平稳地进入至蚀刻腔室内；本实用新型通过超声波清洗的方式来将玻璃基板表面蚀刻后的反应残渣带走并清洗掉，一方面能够避免涡流并提高蚀刻质量，另一方面能够加快蚀刻薄化速度并提高蚀刻效率。

主权项

一种液晶显示器玻璃基板蚀刻设备，其特征在于：包括蚀刻箱体（1），蚀刻箱体（1）的内部成型有蚀刻腔室（11），蚀刻箱体（1）的内部于蚀刻腔室（11）的下方成型有缓冲腔室（12），蚀刻箱体（1）的内部于蚀刻腔室（11）与缓冲腔室（12）之间设置有搭肩（13），缓冲腔室（12）的底部配装有至少两条与循环泵体的出液口连接且往缓冲腔室（12）内供给蚀刻剂的进液管（2），蚀刻腔室（11）与缓冲腔室（12）之间装设有上下层叠且间隔布置的上导流板（3）和下导流板（4），下导流板（4）搭设于挡肩的上表面，上导流板（3）位于下导流板（4）的上方，下导流板（4）开设有上下完全贯穿且呈均匀分布的下导流孔（41），上导流板（3）开设有上下完全贯穿且呈均匀分布的上导流孔（31），上导流孔（31）和下导流孔（41）分别为圆形孔，上导流孔（31）的直径较下导流孔（41）的直径小；蚀刻腔室（11）于上导流板（3）的上方装设有用于固定支撑待蚀刻玻璃基板（9）的固定支撑架（5）以及与超声波发生器（7）电连接的超声波振动板（6）。