[实用新型]具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置有效

专利信息
申请号: 201320299148.0 申请日: 2013-05-28
公开(公告)号: CN203373420U 公开(公告)日: 2014-01-01
发明(设计)人: 郑芳平;张迅;易伟华 申请(专利权)人: 江西沃格光电科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 吴平
地址: 338004 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 一种具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置,包括自限温伴热带,所述自限温伴热带贴合于真空镀膜机抽真空装置的抽气管道端部;自限温伴热带设置有发热电阻。通过在抽气管道端部缠绕自限温伴热带,使自限温伴热带通电发热,再将热量传递给与之接触的抽真空装置的抽气管道端部,使抽真空装置的抽气管道端部在其进口室与出口室的温度升高,使抽真空放大气过程中所排出的水气不会冷冻抽真空装置抽气管道端部的进口室与出口室,从而提高了抽真空效率;同时,自限温伴热带消耗的功率一般在几瓦到几十瓦之间,消耗功率小,可节约电力能源;加热后的自限温伴热带在电阻达到最大值后,可保持适当的温度不变,增加了加热的稳定性,保证了抽真空装置的安全性。
搜索关键词: 具有 机构 真空镀膜 真空 装置
【主权项】:
一种具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置,其特征在于,包括自限温伴热带,所述自限温伴热带贴合于真空镀膜机抽真空装置的抽气管道端部;所述自限温伴热带设置有发热电阻。
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