[实用新型]硅片清洗甩干装置

摘要

本实用新型提供一种硅片清洗甩干装置，包括汽缸、盖板、清洗槽、支架、电机、转筒和硅片承载器，清洗槽固定安装在支架上，电机固定安装在清洗槽的底部，且电机的输出轴延伸至清洗槽内，转筒安装在清洗槽内，且转筒的底部固定连接在电机的输出轴上，转筒的表面开设有小孔，硅片承载器周向均布在转筒内，汽缸垂直安装在清洗槽的正上方，盖板固定安装在汽缸的输出轴上，盖板的底部设有喷嘴，喷嘴连接进水管，清洗槽的底部开设有出水口。本实用新型硅片清洗甩干装置，结构简单，集清洗与甩干于一体，提高了生产效率。

主权项

一种硅片清洗甩干装置，其特征在于：包括气缸（1）、盖板（3）、清洗槽（5）、支架（7）、电机（9）、转筒（10）和硅片承载器（12），所述清洗槽（5）固定安装在所述支架（7）上，所述电机（9）固定安装在所述清洗槽（5）的底部，且所述电机（9）的输出轴延伸至所述清洗槽（5）内，所述转筒（10）安装在所述清洗槽（5）内，且所述转筒（10）的底部固定连接在所述电机（9）的输出轴上，所述转筒（10）的表面开设有小孔，所述硅片承载器（12）周向均布在所述转筒（10）内，所述气缸（1）垂直安装在所述清洗槽（5）的正上方，所述盖板（3）固定安装在所述气缸（1）的输出轴上，所述盖板（3）的底部设有喷嘴（4），所述喷嘴（4）连接进水管（2），所述清洗槽（5）的底部开设有出水口（8）。