[实用新型]一种太阳能硅片扩散炉有效
| 申请号： | 201320311610.4 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN203250776U | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 李春强;郑安;柳渊博;吕海强 | 申请（专利权）人： | 浙江金乐太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C30B31/18 |
| 代理公司： | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 315201 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种太阳能硅片扩散炉，包括炉体和石英舟，所述炉体一端设有进气口，所述炉体侧壁上设有出气口，所述出气口处设有风阀，所述炉体内设有气压传感器，所述气压传感器用于检测所述炉体内气压并控制所述风阀的出风量。本实用新型由于炉体内设有气压传感器，可监控炉体内气压，并实时调节，且石英舟设计合理，制造成本低，硅片成品率高，具有实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 硅片 扩散 | ||
【主权项】：
一种太阳能硅片扩散炉，其特征在于：包括炉体和石英舟，所述炉体一端设有进气口，所述炉体侧壁上设有出气口，所述出气口处设有风阀，所述炉体内设有气压传感器，所述气压传感器用于检测所述炉体内气压并控制所述风阀的出风量。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
