[实用新型]一种无接触式硅片电学型号检测系统有效
| 申请号： | 201320315087.2 | 申请日： | 2013-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN203337546U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 曹伟兵;朱洪伟 | 申请（专利权）人： | 上海柏凌电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01R31/265 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201111 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种无接触式硅片电学型号检测系统，包括测试模块，信号处理模块与测试模块相连，控制模块与信号处理模块相连；测试模块包括基座，承载平台设于基座上，承载平台内部下方设有光电传感器；红外光源和静电耦合传感器垂直设于硅片上部；放大电路与红外光源连接，脉冲信号发生器与红外光源连接；信号处理模块由第一信号处理单元和第二信号处理单元组成，放大电路连接第一信号处理单元，脉冲信号发生器连接第二信号处理单元；控制模块包括微处理器，模/数与数/模转换处理器、LCD触摸屏、光电传感器均与微处理器连接。本实用新型提供的装置具有无接触、抗干扰能力强、故障率低、操作方便、维护成本低、快速准确的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 硅片 电学 型号 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种无接触式硅片电学型号检测系统，其特征在于：包括测试模块(1)，信号处理模块(2)与测试模块(1)相连，控制模块(3)与信号处理模块(2)相连；测试模块(1)包括基座(133)，用于放置硅片(131)的承载平台(132)设于基座(133)上，承载平台(132)内部下方设有光电传感器；红外光源(111)和静电耦合传感器(121)垂直设于硅片(131)上部；放大电路(152)与红外光源(111)连接，脉冲信号发生器(151)与红外光源(111)连接；信号处理模块(2)由用于对采集到的硅片(131)的表面光电动势进行处理的第一信号处理单元(21)和用于对脉冲发生器(151)产生的脉冲信号进行处理的第二信号处理单元(22)组成，放大电路(152)连接第一信号处理单元(21)，脉冲信号发生器(151)连接第二信号处理单元(22)；控制模块(3)包括微处理器(31)，模/数与数/模转换处理器(33)与微处理器(31)连接，用于显示硅片电学型号的LCD触摸屏(32)也连接微处理器(31)；微处理器(31)还连接光电传感器。
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