[实用新型]具有双离子源的离子注入机有效
| 申请号： | 201320316059.2 | 申请日： | 2013-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN203325833U | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 丁杰;严骏;裴雷洪 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种具有双离子源的离子注入机，包括：两个离子源，每一所述离子源的出口端的前部增加一隔离阀；一偏转磁场分析器；以及一连接管道，所述连接管道具有第一端、第二端和第三端，所述第一端和第二端的外侧分别增加一离子源偏转磁场，所述第一端和第二端分别连接一所述离子源的出口端，所述第三端连接所述偏转磁场分析器的进口端，用以解决当离子源拆卸下来进行维护时，做到离子注入机运行维护两不误的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 离子源 离子 注入 | ||
【主权项】：
一种具有双离子源的离子注入机，其特征在于，包括：两个离子源，每一所述离子源的出口端的前部增加一隔离阀；一偏转磁场分析器；以及一连接管道，所述连接管道具有第一端、第二端和第三端，所述第一端和第二端的外侧分别增加一离子源偏转磁场，所述第一端和第二端分别连接一所述离子源的出口端，所述第三端连接所述偏转磁场分析器的进口端。
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