[实用新型]一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器有效
| 申请号： | 201320319386.3 | 申请日： | 2013-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN203480076U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 梅加纯;程筑江;邹承明;陆林俊;董谊 | 申请（专利权）人： | 贵阳恒浩光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293;G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人： | 王娟;郭防 |
| 地址： | 550008 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 实用新型公开了一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器，其特征是结构包括：保温外盒（1）；密封内盒（2）；填充于保温外盒（1）与密封内盒（2）之间的保温材料（3）；环绕于密封内盒（2）周围的减振材料（4）；固定于密封内盒（2）底面的金属固定底座（5）；固定于金属固定底座（5）上的入射端双光纤插针（6），入射端准直透镜（7），第一加热功率电阻（8），MEMS法布里-珀罗腔芯片（9），第二加热功率电阻（11），出射端准直透镜（12），出射端双光纤插针（13）；固定于MEMS法布里-珀罗腔芯片（9）上的热敏电阻（10）。本实用新型具有体积小、快速调谐、连续可调、高精细度、窄带宽、宽自由谱域和调谐范围、热稳定性好，成本低廉等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 法布里 珀罗腔可 调谐 滤波器 | ||
【主权项】：
一种MEMS法布里‑珀罗腔可调谐滤波器，其特征在于：结构包括：保温外盒（1）；密封内盒（2）；填充于保温外盒（1）与密封内盒（2）之间的保温材料（3）；环绕于密封内盒（2）周围的减振材料（4）；固定于密封内盒（2）底面的金属固定底座（5）；固定于金属固定底座（5）上的入射端双光纤插针（6），入射端准直透镜（7），第一加热功率电阻（8），MEMS法布里‑珀罗腔芯片（9），第二加热功率电阻（11），出射端准直透镜（12），出射端双光纤插针（13）；固定于MEMS法布里‑珀罗腔芯片（9）上的热敏电阻（10）。
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