[实用新型]一种电子级化学试剂纯化装置有效
| 申请号： | 201320323457.7 | 申请日： | 2013-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN203393060U | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 张雷;吴小飞;石耀洲 | 申请（专利权）人： | 上海志诚化工有限公司 |
| 主分类号： | C07B63/00 | 分类号： | C07B63/00;C07D207/267;C07C67/48;C07C69/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200030 上海市化学工*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子级化学试剂纯化装置，包括物料储罐、去离子交换室、循环泵、I级连续电场去离子室、II级连续电场去离子室、高离子浓度试剂储罐、低离子浓度储罐、高纯化学试剂储罐；将所述物料储罐、所述循环泵、所述去离子交换室、所述I级连续电场去离子室、所述II级连续电场去离子室、所述高离子浓度试剂储罐、所述低离子浓度储罐、所述高纯化学试剂储罐按顺序连接。本实用新型为处理电子化学试剂中离子，处理后的化学试剂中的离子浓度小于1ppb，达到了EMI-C8的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 化学试剂 纯化 装置 | ||
【主权项】：
一种电子级化学试剂纯化装置，其特征在于，包括物料储罐、循环泵、去离子交换室、I级连续电场去离子室、II级连续电场去离子室、高离子浓度试剂储罐、低离子浓度储罐、高纯化学试剂储罐，并按其顺序连接。
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