[实用新型]在工件上形成光学膜的设备有效
| 申请号： | 201320324961.9 | 申请日： | 2013-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN203284454U | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 高忠义 | 申请（专利权）人： | 惠州欧博莱光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08;C23C14/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 516000 广东省惠州市仲恺*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及在工件上形成各种功能光学膜的设备，该设备的结构包括一机座，机座上设有一密封微波罩，密封微波罩的上下位置分别连接有输气管道和真空泵；所述密封微波罩内安装有工件固定夹，且所述密封微波罩上方依次安装有天线、同轴机构、以及模式转换器，且所述模式转换器通过波导管连接有微波发生源，工作时将工件直接置于密封微波罩内即可完成清洗、加热、活化、附着等一系列工序，自动化程度好，具有很高的沉积效率，本实用新型结构新颖，同样适用于形状复杂的3D工件表面的处理，灵活性大，具有广泛的应用前景和经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 形成 光学 设备 | ||
【主权项】：
一种在工件上形成光学膜的设备，其特征在于：所述的设备包括一机座，机座上设有一密封微波罩，密封微波罩的上下位置分别连接有输气管道和真空泵；所述密封微波罩内安装有工件固定夹，且所述密封微波罩上方依次安装有天线、同轴机构、模式转换器，且所述模式转换器通过波导管连接有微波发生源。
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