[实用新型]一种用于化学气相沉积工艺的衬底及石墨盘

摘要

本实用新型提供用于化学气相沉积工艺的石墨盘和衬底，其特征在于：所述衬底形状呈扇形，为了能够利用现有的圆形衬底制作，扇形衬底的扇形圆心角为360°/N，N为大于等于2且小于等于6的自然数。本实用新型还提出了一种石墨盘，具有衬底承载面，所述衬底承载面设有用于容置所述衬底的收容槽。本实用新型提供的扇形衬底在石墨盘上可以排列的比圆形衬底更为紧密，提高了石墨盘的利用率，提高了化学气相沉积设备的产量；且相对于多边形衬底，本实用新型提供的扇形衬底可以由一个圆形衬底分割而成，既便于加工制作，又避免衬底材料的浪费，降低了生产成本，满足了应用的要求。

主权项

一种用于化学气相沉积工艺的衬底，其特征在于：所述衬底呈扇形，所述扇形衬底的扇形圆心角为360°/N，其中N为大于等于2的自然数。