[实用新型]一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置有效
| 申请号： | 201320339907.1 | 申请日： | 2013-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN203336946U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 韩庆辉;范玉红;刘巍;范靖;曹绍文 | 申请（专利权）人： | 阳光硅峰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/08 | 分类号： | F26B25/08 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 065201 河北省廊坊市三*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置，包括由上隔板、下隔板和立柱构成的框架结构，所述的上隔板和下隔板上分别设置有通孔；所述的立柱为多个，立柱的上端与上隔板相固定，立柱的下端与下隔板相固定。本实用新型的有益效果是：由于把烘烤区一分为二，上隔板和下隔板上分别设置有通孔，可由热风顺畅通过，热循环使上下两层的碳化硅充分烘烤，这样既保证了烘烤质量，又减少了烘烤时间，从而提高了烘烤效率，操作更加简便灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 单晶硅 生产 领域 烤箱 专用 隔断 装置 | ||
【主权项】：
一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置，其特征在于：包括由上隔板、下隔板和立柱构成的框架结构，所述的上隔板和下隔板上分别设置有通孔；所述的立柱为多个，立柱的上端与上隔板相固定，立柱的下端与下隔板相固定。
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