[实用新型]晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统

摘要

本实用新型公开了一种晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统，特别指一种可控制进气速率、且高洁净效果的晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统，其包含有至少一充气模组、一供气模组、一排气模组及一处理模组，该充气模组上分设有至少一连接供气模组的进气阀件，且该充气模组上设有至少一连接排气模组的排气阀件，又供气模组与该等进气阀件的进气回路间分设有一流量调整阀及一压力流量计，前述流量调整阀并连接于处理模组上，借此，当载具置于充气模组上进行充气时，可通过处理模组检知及显示充气模组的供气状况，且依实际状况调整其流量与压力，而能迅速完成载具的充气，并保持载具内部洁净气体的进、出稳定性，有效提高其内部洁净度。

主权项

一种晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统，其对至少一容置晶圆或光罩的密封式载具进行循环充气，其特征在于，该系统包含有：至少一充气模组，该充气模组上分设有至少一进气阀件，且该充气模组上另分设有至少一排气阀件；一提供洁净的惰性气体的供气模组，该供气模组利用一进气管路及至少一连接所述充气模组的进气歧管形成一进气回路，其中该进气歧管连接充气模组的进气阀件，又该对应各充气模组的进气歧管上分别串设有一控制流量的流量调整阀及一检知流量气压的压力流量计；一供回收废气的排气模组，该排气模组利用一排气导管及至少一连接所述充气模组的排气歧管形成一排气回路，其中该进气歧管连接充气模组的进气阀件；一处理模组，该处理模组分别与供气模组的流量调整阀及压力流量计连接，接收其检知信号与资料，且处理模组连接有一操控流量调整阀的人机接口，且处理模组并连接有一显示压力流量计数据的显示单元；该载具具有对应充气模组进气阀件与排气阀件的进气阀件与出气阀件，组构成一使充气模组对设置于其上的载具进行循环充气的晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统。