[实用新型]薄膜晶体管阵列基板及液晶显示器有效
申请号: | 201320346619.9 | 申请日: | 2013-06-17 |
公开(公告)号: | CN203367290U | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 许宗义 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/10;H01L27/02 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 刁文魁;唐秀萍 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种薄膜晶体管阵列基板及液晶显示器,所述薄膜晶体管阵列基板,包括:基板;多晶硅层,形成于所述基板上,所述多晶硅层包括:第一结晶区;第二结晶区;所述第一结晶区和所述第二结晶区中的晶粒界面均与所述第一结晶区和第二结晶区之间的界面垂直。本实用新型可提高形成的沟道的电子迁移率,并使得TFT的电性更加均匀。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 阵列 液晶显示器 | ||
【主权项】:
一种薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,包括:基板;多晶硅层,形成于所述基板上,所述多晶硅层包括:第一结晶区;第二结晶区;所述第一结晶区和所述第二结晶区中的晶粒界面均与所述第一结晶区和第二结晶区之间的界面垂直。
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