[实用新型]超声作用下的硬脆材料研磨装置有效
| 申请号： | 201320347103.6 | 申请日： | 2013-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN203380706U | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 李淑娟;崔丹;李言;胡海明;刘永;赵智渊 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | B24B1/04 | 分类号： | B24B1/04;B24B37/10 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 超声作用下的硬脆材料研磨装置，包括研磨盘和载物盘，载物盘位于研磨盘的上面，晶片设置在载物盘与研磨盘之间，载物盘与导轮电机、滑台及超声波发生器连接，超声波发生器产生的超声频振动作用于载物盘上，载物盘在导轮电机带动下相对于研磨盘旋转，同时在滑台带动下作往复运动。本实用新型在载物盘的上表面施加超声振动，在超声作用下，玻璃材料的塑性域到脆性域转化的临界条件发生了变化，从而改善了磨粒与待研磨晶片之间的力学状态，达到了改善研磨效果的目的。本实用新型提高了晶体的研磨效率和质量，结构简单，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 作用 材料 研磨 装置 | ||
【主权项】：
超声作用下的硬脆材料研磨装置，其特征在于：包括研磨盘（9）和载物盘（8），所述载物盘（8）位于研磨盘（9）的上面，晶片设置在载物盘（8）与研磨盘（9）之间，所述载物盘（8）与导轮电机（5）、滑台（4）及超声波发生器（6）连接，所述超声波发生器（6）产生的超声频振动作用于载物盘（8）上，所述载物盘（8）在导轮电机（5）带动下相对于研磨盘（9）旋转，同时在所述滑台（4）带动下作往复运动。
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