[实用新型]一种基于微机电干涉平台的微型光谱仪

摘要

本实用新型公开了一种基于微机电干涉平台的微型光谱仪，包括光路系统和电路系统；光路系统包括光源、两个准直透镜、样品池、二向色镜、分光镜、全反射镜、微机电干涉平台、二向色镜、滤光片及其两个探测器；所述电路系统包括数据处理模块，数据处理模块包括光电检测、核心算法及光谱数据的处理；光源发出的光使样品池中的样品受到激发后发出样品光，透过样品池的光源经过分光后一束作为参考光一束作为反馈光。三种光经过一系列的作用后被送入电路系统，电路系统将采集的样品光的光谱信息发送到光谱数据库系统中，与光谱数据库中已知的数据进行对比，以此来判断未知物质的化学组成。本方案可方便的判断出未知物质的化学组成，并且低成本，精度高。

主权项

一种基于微机电干涉平台的微型光谱仪，其特征在于：包括光路系统和电路系统； 所述光路系统包括光源（1）、两个准直透镜（2，4）、样品池（3）、二向色镜（5）、分光镜（8）、全反射镜（7）、微机电干涉平台（33）、二向色镜（17）、滤光片（16）及其两个探测器（14，15）； 光源（1）发出的参考光经过准直透镜（2）的准直后进入样品池（3），使样品池（3）受激发发出样品光，样品光经过准直透镜（4）的收集后和参考光一同进入二向色镜（5），被分为两路光，一路经过全反射镜（7）入射到分光镜（8）上，分光镜（8）将其反射到微机电干涉平台（33）第一动镜（10）上，反射回的光经过分光镜（8）入射到四象限探测器（9）上；一路经过微机电干涉平台（33）的干涉作用后变为干涉光，二向色镜（17）将干涉光分成样品光和参考光两束单独的干涉光；两个探测器（14，15）分别用于采集干涉样品光与干涉参考光； 所述电路系统包括数据处理模块（21），用于光的检测、核心算法及光谱数据的处理。