[实用新型]显示基板的污染物颗粒监控装置及快速热退火系统有效
| 申请号： | 201320370627.7 | 申请日： | 2013-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN203337511U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 田慧 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/10 | 分类号： | G01N15/10;H01L21/324 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种显示基板的污染物颗粒监控装置及快速热退火系统。该显示基板的污染物颗粒监控装置，包括污染物颗粒监测模块，用于检测并采集污染物颗粒信息的；信息处理模块，用于根据所采集的污染物颗粒信息对显示基板进行清洁度判断；所述污染物颗粒监测模块与所述信息处理模块连接。本实用新型采用污染物颗粒监测模块的设计，可对显示基板进行实时监测显示基板的污染物颗粒数量，采用信息处理模块的设计，可根据污染物颗粒数量自动分析和判断显示基板的清洁度，以确保进入温度处理装置的显示基板清洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 污染物 颗粒 监控 装置 快速 退火 系统 | ||
【主权项】：
一种显示基板的污染物颗粒监控装置，其特征在于，包括： 污染物颗粒监测模块，用于检测并采集污染物颗粒信息的； 信息处理模块，用于根据所采集的污染物颗粒信息对显示基板进行清洁度判断；所述污染物颗粒监测模块与所述信息处理模块连接； 所述信息处理模块包括： 运算编辑单元，用于计算显示基板清洁度； 信息接收单元，用于接收反馈信息； 所述信息接收单元与所述运算编辑单元连接；所述污染物颗粒监测模块与所述信息接收单元连接。
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