[实用新型]一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱有效
| 申请号： | 201320388713.0 | 申请日： | 2013-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN203331258U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 韩庆辉;范玉红;刘巍 | 申请（专利权）人： | 阳光硅峰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 065201 河北省廊坊市三*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱，包括箱体；所述箱体的内腔中设有隔板，隔板将箱体的内腔分成温水区和冷水区两部分，并且隔板的底端设有连通温水区和冷水区的通孔；所述温水区的底部设有温水出水口，其顶部设有温水进水口；所述冷水区的底部设有冷水出水口，其顶部设有冷水进水口。本实用新型能够保证水温达到恒定，由冷水机组将温水区中的水制冷，同时将所制的冷水首先送入冷水区中，再通过管道将冷水区中的冷水抽送到车间为车间设备降温。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 生产 中的 冷却系统 专用 水箱 | ||
【主权项】：
一种单晶硅片生产中的冷却系统专用水箱，包括箱体（1）；其特征在于：所述箱体（1）的内腔中设有隔板（2），隔板（2）将箱体（1）的内腔分成温水区（4）和冷水区（5）两部分，并且隔板（2）的底端设有连通温水区（4）和冷水区（5）的通孔；所述温水区（4）的底部设有温水出水口（10），其顶部设有温水进水口（11）；所述冷水区（5）的底部设有冷水出水口（17），其顶部设有冷水进水口（18）。
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