[实用新型]一种硅片装夹装置有效
| 申请号： | 201320390130.1 | 申请日： | 2013-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN203426851U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 周建国;夏利荣 | 申请（专利权）人： | 常州市立威刀具有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种在硅片研磨中使用的硅片装夹装置，包括容放硅片的容置槽，容置槽的右端设置有夹紧装置，其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板，以及设置在容置槽上驱动压紧板的驱动机构，在容置槽的左端设置有辅助夹紧装置，其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板，以及固定设置在辅助压紧板左端面、容置槽内壁之间的弹性件，将硅片放置在容置槽中，驱动油缸的活塞杆推动压紧板向前移动，对硅片进行挤压，而辅助夹紧装置能够对硅片进行支撑，使夹紧的力度适合，不会因为压紧板的力量过大而导致硅片的损坏，同时也不会影响研磨工作的进行。本实用新型无需将硅片粘合在一起，从而保证了硅片的质量，确保硅片表面的平整度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片装夹装置，包括容放硅片的容置槽，其特征在于：容置槽的右端设置有夹紧装置，其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板，以及设置在容置槽上驱动压紧板的驱动机构，在容置槽的左端设置有辅助夹紧装置，其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板，以及固定设置在辅助压紧板左端面、容置槽内壁之间的弹性件。
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