[实用新型]一种铝基三层金属膜石英晶体微天平传感器有效
| 申请号： | 201320393747.9 | 申请日： | 2013-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN203299075U | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 曹忠;黄大凯;曹婷婷;吴玲;宋天铭 | 申请（专利权）人： | 长沙理工大学 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410004 湖南省长沙市雨花区万家*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种铝基三层金属膜石英晶体微天平传感器，该传感器包括一个石英晶体片(1)，所述石英晶体片(1)基底是镀铝膜层(2)，所述镀铝膜层(2)表面是镀钛膜层(3)，所述镀钛膜层(3)表面是镀金膜层(4)，形成一种基于铝基三层金属膜的石英晶体微天平传感器。本实用新型的效果和益处在于所述铝基三层金属膜石英晶体微天平传感器具有制作简单、成本低廉、灵敏度高、抗腐蚀性和稳定性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三层 金属膜 石英 晶体 天平 传感器 | ||
【主权项】：
一种铝基三层金属膜石英晶体微天平传感器，其特征是：该传感器包括一个石英晶体片(1)，所述石英晶体片(1)基底是镀铝膜层(2)，所述镀铝膜层(2)表面是镀钛膜层(3)，所述镀钛膜层(3)表面是镀金膜层(4)，形成一种基于铝基三层金属膜的石英晶体微天平传感器。
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