[实用新型]一种用热丝法制备TiC涂层的高温化学气相沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种用热丝法制备的涂层的高温化学气相沉积装置，包括进气系统和真空系统，真空系统包括真空腔体和耐酸机械泵，耐酸机械泵的液相出口与真空腔体的液相进口连接，进气系统包括氩气瓶、甲烷瓶、氩气瓶、四氯化钛密封瓶和混气室，氩气瓶的出口与四氯化钛密封瓶的进口连接，四氯化钛密封瓶的出口与混气室的进口连接，真空腔体内设置有加热钨丝，加热钨丝设置在电极上，电极上外接有直流电源。本实用新型采用化学气相沉积法和物理气相沉积相结合的方式避免了η相生成及腔体污染,减少了涂层内应力，可使硬质合金基体温度降低至600℃左右，制备涂层的颗粒尺寸降低，达到纳米级，提高纳米TiC涂层表面光洁度、耐高温性能。

主权项

一种用热丝法制备TiC涂层的高温化学气相沉积装置，包括进气系统和真空系统，所述真空系统包括真空腔体和耐酸机械泵，所述耐酸机械泵的出口与所述真空腔体的第一进口连接，所述进气系统包括氢气瓶、甲烷瓶、四氯化钛密封瓶和混气室，所述氢气瓶的出口、所述甲烷瓶的出口和所述四氯化钛密封瓶的出口分别与所述混气室的进口连接，所述混气室的出口与所述真空腔体的第二进口连接，其特征在于:所述进气系统还包括氩气瓶，所述氩气瓶的出口与所述四氯化钛密封瓶进口连接，所述真空腔体内设置有加热钨丝。