[实用新型]一种多晶硅纯度优化设备有效
申请号: | 201320407628.4 | 申请日: | 2013-07-10 |
公开(公告)号: | CN203187408U | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 周胜平;王凤咏;张胜涛;李瑞民;芦方全;王林 | 申请(专利权)人: | 中石化工建设有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 050046 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 一种多晶硅纯度优化设备,包括加热炉体、坩埚、加热板、冷却装置、铸型升降装置,所述加热炉体为一罩壳结构,该加热炉体顶部设置有顶盖,该加热炉体一侧连接有真空泵,另一侧连接有阀体;所述坩埚设置在所述加热炉体内,所述冷却装置设置在该坩埚底部,设置在加热炉体底部的隔热板与所述冷却装置、加热炉体共同构成封闭腔体;所述坩埚外壁上设置加热板;所述冷却装置设置有热开关,该热开关与所述坩埚的底部连接,该冷却装置的底部分别设置有冷却水进口和冷却水出口;冷却装置周边设置有保温壁,该保温壁与所述隔热板连接;所述铸型升降装置设置在冷却装置的下部。该设备成本低、技术成熟度高、环境污染小。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 纯度 优化 设备 | ||
【主权项】:
一种多晶硅纯度优化设备,包括加热炉体、坩埚、加热板、冷却装置、铸型升降装置,其特征在于:所述加热炉体为一罩壳结构,该加热炉体顶部设置有顶盖,该加热炉体一侧连接有真空泵,另一侧连接有阀体;所述坩埚设置在所述加热炉体内,所述冷却装置设置在该坩埚底部,设置在加热炉体底部的隔热板与所述冷却装置、加热炉体共同构成封闭腔体;所述坩埚外壁上设置加热板;所述冷却装置设置有热开关,该热开关与所述坩埚的底部连接,该冷却装置的底部分别设置有冷却水进口和冷却水出口;冷却装置周边设置有保温壁,该保温壁与所述隔热板连接;所述铸型升降装置设置在冷却装置的下部。
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