[实用新型]一种多晶硅薄膜太阳能电池

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅薄膜太阳能电池，其结构为：FTO或AZO透明导电玻璃衬底／ZnO籽晶层／N型ZnO纳米阵列／P型多晶硅薄膜／金属电极，形成基于ZnO纳米阵列的n-ZnO／p-Si异质结太阳能电池。技术方案为：在FTO或AZO透明导电玻璃上制备ZnO籽晶层，在ZnO籽晶层上生长N型ZnO纳米阵列，在N型ZnO纳米阵列上制备P型多晶硅薄膜，最后在多晶硅薄膜上蒸镀金属电极。此结构特征在于N型ZnO纳米阵列可以直接深入至Si薄膜内部，实现多晶硅薄膜全面包覆ZnO纳米棒，充分利用纳米阵列传递载流子的作用，降低载流子复合几率，有效提升光伏转换效率。

主权项

一种基于ZnO纳米阵列的多晶硅薄膜太阳能电池，其特征在于，其结构依次包括：FTO或AZO透明导电玻璃衬底、ZnO籽晶层、N型ZnO纳米阵列、P型多晶硅薄膜、金属电极。