[实用新型]一种单晶硅制备工艺中排放氩气的净化回收装置

摘要

一种单晶硅制备工艺中排放氩气的净化回收装置，该装置包含有：一粗氩气收集预处理系统，一压缩除油系统，一催化反应系统，一纯化系统，一低温精馏系统，一空气处理系统，一自动控制系统；在粗氩气收集预处理系统中设置一台氩气缓冲罐，用于稳定粗氩气进入氩气压缩机前的压力；在催化反应系统中采用了高温回热器对在烷烃催化炉中完成催化反应后的高温氩气的热量进行回收，并对即将进行催化反应的粗氩气进行预热；纯化系统中的吸附器采用两台切换使用，一台工作时，另一台再生。

主权项

一种单晶硅制备工艺中排放氩气的净化回收装置，该装置包含有：一对单晶硅炉排放的粗氩气进行粗油过滤的粗氩气收集预处理系统（A），一对粗氩气进行精密油过滤的压缩除油系统（B），一除去粗氩气中一氧化碳、烷烃与氧组分的催化反应系统（C），一除去粗氩气中二氧化碳和水分的纯化系统（D），一除去粗氩气中氮和氢组分的低温精馏系统（E），一为低温精馏系统制取氮气提供原料气来源的空气处理系统（F），一对整套装置进行控制的自动控制系统；    在粗氩气收集预处理系统（A）中设置一台氩气缓冲罐（4），用于稳定粗氩气进入氩气压缩机（5）前的压力；在催化反应系统（C）中采用了高温回热器（8）对在烷烃催化炉（10）中完成催化反应后的高温氩气的热量进行回收，并对即将进行催化反应的粗氩气进行预热；纯化系统（D）中的吸附器采用两台切换使用，一台工作时，另一台再生。