[实用新型]一种超精密气体静压回转工作台有效
| 申请号： | 201320426477.7 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN203317051U | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 赵惠英 | 申请（专利权）人： | 北京微纳精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B23Q1/38 | 分类号： | B23Q1/38;B23Q17/24 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 100102 北京市朝阳区望京新*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种超精密气体静压回转工作台。其包括径向气体静压轴承副、轴向上气体静压轴承副、轴向下气体静压轴承副、静压轴承座、转台基座、力矩电机定子、力矩电机转子、电机芯轴和圆光栅角位移传感器，转台基座上设有螺钉孔，径向气体静压轴承副、轴向上、下气体静压轴承副固定连接为一体，径向气体静压轴承副、静压轴承座和转台基座连接成一体，轴向上、下气体静压轴承副设置在静压轴承座内，力矩电机定子固定在转台基座上，力矩电机转子安装在电机芯轴上，电机芯轴固定在静压轴承副上，圆光栅角位移传感器安装在转台基座的台阶端面上。其解决了传统回转工作台运动副摩擦和发热的产生，阻隔零部件的振动，提高了径向和轴向回转精度和支承刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 气体 静压 回转 工作台 | ||
【主权项】：
一种超精密气体静压回转工作台，其特征在于：包括径向气体静压轴承副、轴向上气体静压轴承副、轴向下气体静压轴承副、静压轴承座、转台基座、力矩电机定子、力矩电机转子、电机芯轴和圆光栅角位移传感器，转台基座上设有螺钉孔，径向气体静压轴承副、轴向上气体静压轴承副和轴向下气体静压轴承副固定连接为一体，径向气体静压轴承副、静压轴承座和转台基座连接成一体，轴向上气体静压轴承副和轴向下气体静压轴承副设置在静压轴承座内，力矩电机定子固定在转台基座上，力矩电机转子安装在电机芯轴上，电机芯轴固定在静压轴承副上，圆光栅角位移传感器安装在转台基座的台阶端面上。
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