[实用新型]一种金刚线切割冷却液喷液嘴

摘要

本实用新型公开了一种金刚线切割冷却液喷液嘴，包括导流板、分流管和喷液嘴主体，所述喷液嘴主体内腔为圆柱形、且沿其侧壁上的一条母线设置一条长直的开口；所述分流管置于喷液嘴主体的内腔中，沿分流管侧壁上的一条母线均匀设有若干相同的喷液孔，所述喷液孔与开口反向放置，所述导流板包括支撑板和导向板，所述喷液嘴主体置于支撑板上，支撑板后方设有过滤网，所述过滤网与支撑板平滑连接，所述过滤网下方设置导向板，所述导向板与支撑板之间呈一定夹角，所述冷却液以45°喷射到切割金刚线和硅棒的接触处，增加进入锯缝的冷却液量，均匀润湿，提高冷却效率和切割硅片的表面质量，同时延长切割金刚线的使用寿命。

主权项

一种金刚线切割冷却液喷液嘴，包括导流板（1）、分流管（2）和喷液嘴主体（3），所述喷液嘴主体（3）内腔为圆柱形、且沿其侧壁上的一条母线设置一条长直的开口（4）；所述分流管（2）置于喷液嘴主体（3）的内腔中，沿分流管（2）侧壁上的一条母线均匀设有若干相同的喷液孔（5），所述喷液孔（5）与开口（4）的位置反向对准，其特征在于：所述导流板（1）包括支撑板（6）和导向板（7），所述喷液嘴主体（3）置于支撑板（6）上，支撑板（6）后方设有过滤网（9），所述过滤网（9）前侧与支撑板（6）平滑连接，过滤网（9）下方设置导向板（7），且过滤网（9）后侧与导向板（7）平滑连接，所述导向板（7）与支撑板（6）之间呈一定夹角。