[实用新型]一种承载治具及等离子体增强化学气相沉积设备

摘要

本实用新型涉及太阳能光伏的生产设备技术领域，公开了一种承载治具及等离子体增强化学气相沉积设备。所述承载治具包括：金属托盘，且所述金属托盘具有多个硅片盛放槽。本实用新型有益效果如下：采用具有硅片盛放槽的金属托盘承载硅片在等离子体增强化学气相沉积设备中进行镀膜，由于金属托盘具有一定的强度，因此，金属托盘上可以加工出大量的硅片盛放槽，提高了单次镀膜的硅片数量，同时，采用金属托盘还可以避免在进行镀膜加工时出现托盘破碎，进一步的提高了硅片镀膜的生产效率。

主权项

一种承载治具，其特征在于，包括金属托盘，且所述金属托盘具有多个硅片盛放槽，所述硅片盛放槽的底面具有至少一个通孔；还包括顶出装置，所述顶出装置包括位于硅片盛放槽内的翻片和与翻片底部固定连接并分别伸出每一个通孔的支撑杆。