[实用新型]等离子体气相沉积用射频电源有效
| 申请号： | 201320456325.1 | 申请日： | 2013-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN203340398U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 沙嫣;沙晓林 | 申请（专利权）人： | 沙嫣;沙晓林 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200050 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种等离子体气相沉积用射频电源，包括一变压器，用于将一交流源电压变换成一交流输入电压；一激发单元，用于利用所述交流输入电压产生一正弦波电压；一放大单元，用于放大所述正弦波电压；一自动匹配单元，用于对所述正弦波电压进行负载阻抗匹配，包括：一匹配电容；及一匹配电容传动部件，其中，所述匹配电容传动部件采用齿轮比为(1.5~2.5)：15的齿轮传动部件；及一输出单元，用于将所述正弦波电压输出至一气相沉积设备。本实用新型结构合理，配匹精度高，片间均匀性得到有效提高。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 沉积 射频 电源 | ||
【主权项】：
一种等离子体气相沉积用射频电源，其特征在于，包括：一变压器，用于将一交流源电压变换成一交流输入电压；一激发单元，用于利用所述交流输入电压产生一正弦波电压；一放大单元，用于放大所述正弦波电压；一自动匹配单元，用于对所述正弦波电压进行负载阻抗匹配，包括：一匹配电容；及一匹配电容传动部件，其中，所述匹配电容传动部件采用齿轮比为(1.5~2.5)：15的齿轮传动部件；及一输出单元，用于将所述正弦波电压输出至一气相沉积设备并产生辉光放电现象。
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