[实用新型]半导体制程夹具处理设备

摘要

本实用新型公开了一种半导体制程夹具处理设备，包含有移载滑台、载料单元及卸料单元，载料单元包含有电性连接的载料移载机具、载料物料存取区以及载料物料取放机具，卸料单元包含有电性连接的卸料移载机具、卸料物料存取区以及卸料物料取放机具。本实用新型主要通过移载滑台，使载料单元及卸料单元对半导体制程夹具的拆装、载料及卸料作业完全自动化，形成一自动化循环装、卸除机构，不仅节省人力的消耗，也大幅提升作业效率。

主权项

一种半导体制程夹具处理设备，半导体制程夹具包含有由上而下依序设置的上夹板、中夹板及下夹板，其中，上夹板两侧分别设置有贯穿上夹板的锥度孔，锥度孔内穿设有连接下夹板的螺杆，螺杆上则锁设可锁入锥度孔的锥度定位件，上夹板下方通过数个弹性组件连接中夹板，而下夹板的四个端部则分别设置有连接上夹板的挡止块，使挡止块与中夹板及下夹板之间可形成一置放物料的容置空间；其特征在于：    半导体制程夹具处理设备对半导体制程夹具进行载料及卸料作业，处理设备主要包含有：    移载滑台，该移载滑台移载半导体制程夹具；　载料单元，包含有电性连接的载料移载机具、载料物料存取区以及载料物料取放机具，通过移载滑台承载半导体制程夹具，并将半导体制程夹具移载定位后，载料移载机具拆卸半导体制程夹具的锥度定位件、上夹板及中夹板，而载料物料取放机具搬运存放于载料物料存取区的物料至半导体制程夹具上，在半导体制程夹具载满物料后再通过载料移载机具装载锥度定位件、上夹板及中夹板于半导体制程夹具上；　卸料单元，连接移载滑台，卸料单元主要包含有电性连接的卸料移载机具、卸料物料存取区以及卸料物料取放机具，移载滑台将载满物料的半导体制程夹具移载定位后，通过卸料移载机具拆卸半导体制程夹具的锥度定位件、上夹板及中夹板，而卸料物料取放机具则搬运半导体制程夹具上的物料存放至卸料物料存取区，在半导体制程夹具卸除完物料后再通过卸料移载机具装载锥度定位件、上夹板及中夹板于半导体制程夹具上。