[实用新型]一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统有效
| 申请号： | 201320470778.X | 申请日： | 2013-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN203457399U | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 王宇;谢婉露;吴晓斌;张罗莎;陈进新;王魁波;罗艳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碎屑收集装置。所述碎屑收集装置包括金属液滴产生装置(10)和金属液滴收集装置(11)，所述金属液滴产生装置(10)位于所述金属液滴收集装置(11)的正上方，且具有开口竖直向下的多个喷射口，每个喷射口可以喷射出具有一定间隔的金属液滴组成的金属液滴串。金属液滴收集装置(11)具有一个正对所述金属液滴帘(12)的液滴入口，使得所述金属液滴帘(12)流入该液滴入口后被收集。本实用新型能够有效地降低碎屑含量，能够应用于EUV光源系统中，从而有效地降低碎屑的污染和元件的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碎屑 收集 装置 包括 euv 光源 系统 | ||
【主权项】：
一种碎屑收集装置，其特征在于：包括位于碎屑传播路径上的金属液滴产生装置(10)，该金属液滴产生装置(10)用于产生一个金属液滴帘。
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