[实用新型]一种玻璃基板真空传送系统有效
| 申请号： | 201320476168.0 | 申请日： | 2013-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN203473933U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 佘鹏程;孙雪平;童晖;罗宏洋 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G54/02 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强;李发军 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 实用新型公开了一种玻璃基板真空传送系统。所述真空传送系统包括真空腔体和位于真空腔体内的滚道，装在真空腔体内的用于装载玻璃基板的基板装载小车，驱动该基板装载小车在所述滚道上移动且位于真空腔体外侧的驱动装置；所述驱动装置的传动轴通过至少一个传力部件与所述基板装载小车相连，穿过真空腔体的该传力部件与真空腔体壁面之间设有密封部件。本实用新型实现了真空系统中大尺寸玻璃基板的全自动传送，确保玻璃基板可以平稳、快速的在各工艺腔室内的相互传送。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 真空 传送 系统 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板真空传送系统，其特征在于，包括真空腔体（1）和位于真空腔体（1）内的滚道（6），装在真空腔体（1）内的用于装载玻璃基板的基板装载小车，驱动该基板装载小车在所述滚道（6）上移动且位于真空腔体（1）外侧的驱动装置；所述驱动装置的传动轴通过至少一个传力部件与所述基板装载小车相连，穿过真空腔体（1）的该传力部件与真空腔体（1）壁面之间设有密封部件。
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