[实用新型]能供多炉台共用的外部连续投料装置有效
申请号: | 201320478978.X | 申请日: | 2013-08-06 |
公开(公告)号: | CN203440494U | 公开(公告)日: | 2014-02-19 |
发明(设计)人: | 朱亮;王巍;俞安州;沈兴潮;孙明 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备,旨在提供能供多炉台共用的外部连续投料装置。该外部连续投料装置包括料筒、输送腔和装料小车,料筒部设有加料口、出料口和底部法兰,输送腔包括横向空腔和斜向空腔,横向空腔的端部上侧设有进料口和进料法兰,进料法兰与料筒的底部法兰相连,横向空腔中装有传送装置,斜向空腔的底部设有斜出料口和斜口法兰,斜口法兰与单晶炉炉盖上的球阀连接,斜向空腔中设有石英轨道装置。本实用新型在完成外部投料后,提升石英管并关闭球阀,拆卸波纹管与球阀的连接处,不需对料筒和输送腔进行操作,移动装料小车至其它炉台,即可再次简单安装后进行外部投料,能够大幅提升生产效率,节约成本。 | ||
搜索关键词: | 能供多 炉台 共用 外部 连续 投料 装置 | ||
【主权项】:
能供多炉台共用的外部连续投料装置,包括料筒和输送腔,用于对单晶炉进行外部投料,其特征在于,所述料筒的顶部设有加料口,底部设有出料口,出料口上设有底部法兰;所述输送腔包括横向空腔和斜向空腔,横向空腔和斜向空腔连接成内部空腔互通的锐角状L形结构,横向空腔的端部上侧设有进料口,进料口上设有进料法兰,进料法兰与料筒的底部法兰相连,横向空腔中装有传送装置,传送装置包括电机、主动轴、传动轴和输送带,主动轴和传动轴之间通过输送带连接,电机用于为主动轴提供转动的动力;斜向空腔的底部设有斜出料口,斜出料口上设有斜口法兰,斜口法兰通过波纹管与单晶炉炉盖上的球阀连接,斜向空腔中设有石英轨道装置,石英轨道装置上安装有一根石英管,石英管能在石英轨道装置上沿斜向空腔的轴向实现位移。
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