[实用新型]具有孔状式晶圆洗净槽

摘要

实用新型公开了一种具有孔状式晶圆洗净槽，包括有一洗净槽、夹具头、数个喷水结构、快排水自动阀、氮气管盘、进水管、供水管、溢水孔、进退回转马达及加压马达所组装成，其中该洗净槽内部左、右两侧装设有喷水结构，前、后侧面装设溢水孔，底部装设氮气管盘，上方装设固定座并在下方连接夹具头，氮气管盘下方装设活动快排水自动阀，而洗净槽的一方连接进退回转马达与数根进水管连接加压马达，该夹具头夹住被洗净晶圆放置在洗净槽内，该夹具内的晶圆能充分获得洗净加工作业。

主权项

一种具有孔状式晶圆洗净槽，其特征在于，其由洗净槽、固定座、夹具头、数个喷水结构、快排水自动阀、氮气管盘、进退回转马达、进水管、供水管、溢水孔及加压马达所组装成，其中该洗净槽呈倒凸形，而内部左、右两侧装设有喷水结构，所述喷水结构主要由供水管、喷水头所组装成，装设在洗净槽由上往下的左、右侧并装设有喷水头，洗净槽前、后侧面与左侧面装设溢水孔，固定座装设在洗净槽的上方固定夹具头，而夹具头装设在固定座的下方，而夹具头的两侧装设被洗净晶圆，而洗净槽底部装设一氮气管盘，而洗净槽的底部装设有一快排水自动阀。