[实用新型]蓝宝石炉双波纹管新型称重系统

摘要

一种蓝宝石炉双波纹管新型称重系统，包括真空室，底端置于真空室内的籽晶轴，在籽晶轴顶端固定有籽晶轴座，在真空室顶端固定有下波纹管，在下波纹管顶端固定有滑座，滑座为中空状，在滑座内底部和下波纹管上下对应的位置固定有上波纹管，上波纹管顶端和籽晶轴座底端连接，在滑座顶部固定有称重传感器，在称重传感器的输入端上垂直安装有称重连接板，籽晶轴座固定在称重连接板上；滑座带动籽晶轴升降时，下波纹管被拉伸及压缩变形，其所产生的干扰力由滑座承受，不会对称重传感器产生影响，当晶体重量逐渐增大时，称重传感器因测量产生的微变形由上波纹管变形抵消，上波纹管形变极小，因形变产生的重量干扰可以忽略不计，从而达到高精度测量的目的。

主权项

一种蓝宝石炉双波纹管新型称重系统，包括真空室（8），底端置于真空室（8）内的籽晶轴（7），在籽晶轴（7）顶端固定有籽晶轴座（1），籽晶轴座（1）内有旋转密封装置，其特征在于：在所述真空室（8）顶端固定有下波纹管（6），在下波纹管（6）顶端固定有滑座（4），所述滑座（4）为中空状，在滑座（4）内底部和下波纹管（6）上下对应的位置固定有上波纹管（5），上波纹管（5）顶端和籽晶轴座（1）底端连接，在滑座（4）位于籽晶轴座（1）两端的顶部固定有称重传感器（3），在称重传感器（3）的输入端上垂直安装有称重连接板（2），籽晶轴座（1）固定在称重连接板（2）上，所述真空室（8）、下波纹管（6）、上波纹管（5）和籽晶轴座（1）的底部围成真空腔室，所述籽晶轴（7）位于真空腔室内。