[实用新型]一种磷化氢气体监控装置以及磷化氢气体净化系统

摘要

本实用新型提供一种磷化氢气体监控装置以及磷化氢气体净化系统，该监控装置包括：检测单元、控制单元和调节单元；检测单元与控制单元相连，用于检测磷化氢气体净化系统所排出的磷化氢气体的浓度，并将检测得到的磷化氢气体浓度检测值发送给控制单元；控制单元与调节单元相连，用于将磷化氢气体浓度检测值与其内预设的浓度安全范围进行比较，并根据比较结果向调节单元发送调节指令；调节单元用于根据控制单元的调节指令，调节磷化氢气体净化系统的进气量。本实用新型能对磷化氢气体浓度进行监控及提高净化处理的自动化程度，降低人工成本，减少操作人员的身体损害，保证净化处理设备平稳工作，避免频繁开关设备，适用范围更广泛。

主权项

一种磷化氢气体监控装置，应用于磷化氢气体净化系统中，其特征在于，该磷化氢气体监控装置包括：检测单元、控制单元和调节单元，所述控制单元内预设有浓度安全范围；所述检测单元与所述控制单元相连，用于检测所述磷化氢气体净化系统所排出的磷化氢气体的浓度，并将检测得到的磷化氢气体浓度检测值发送给所述控制单元；所述控制单元与所述调节单元相连，用于将所述磷化氢气体浓度检测值与其内预设的浓度安全范围进行比较，并根据比较结果向所述调节单元发送调节指令；所述调节单元用于根据所述控制单元的调节指令，调节磷化氢气体净化系统的进气量。