[实用新型]TOF-SIMS的样品图像系统和TOF-SIMS

摘要

本实用新型公开了一种TOF-SIMS的样品图像系统和TOF-SIMS，样品图像系统包括安装于TOF-SIMS的主腔体外的电荷藕合器件图像传感器、变焦镜头和光源、以及设置于主腔体内的第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜通过安装孔套装于二次离子提取系统的壳体。上述TOF-SIMS的样品图像系统，通过在主腔体内设置第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，实现了光线的内外传输，达到将电荷藕合器件图像传感器、变焦镜头和光源设置在主腔体的外部的目的，所以，上述TOF-SIMS的样品图像系统节省了主腔体的内部空间，提高了二次离子提取效率。

主权项

一种TOF‑SIMS的样品图像系统，其特征在于，包括：安装于TOF‑SIMS的主腔体外的电荷藕合器件图像传感器、变焦镜头和光源、以及设置于所述主腔体内的第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，所述第一反射镜、第二反射镜和所述第三反射镜上设有安装孔，所述第一反射镜、所述第二反射镜和所述第三反射镜通过安装孔套装于所述主腔体内的二次离子提取系统的壳体；在所述光源发出的光射入所述主腔体的光路中：所述第一反射镜的一部分位于所述光源的出射光路上，所述第三反射镜的一部分位于所述第一反射镜的反射光路上，所述第二反射镜的一部分位于所述第三反射镜的反射光路上，TOF‑SIMS的样品靶位于所述第二反射镜的反射光路上；在所述样品靶反射的光射出所述主腔体的光路中：所述第二反射镜的另一部分位于所述样品靶的反射光路上，所述第三反射镜的另一部分位于所述第二反射镜的反射光路上，所述第一反射镜的另一部分位于所述第二反射镜的反射光路上，所述变焦镜头位于所述第一反射镜的反射光路上，所述电荷藕合器件图像传感器位于所述变焦镜头的出射光路上。