[实用新型]带水冷热屏的单晶生长炉有效
| 申请号： | 201320505747.3 | 申请日： | 2013-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN203440493U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;曹建伟;俞安州;王巍;沈兴潮 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶硅生产设备领域，旨在提供带水冷热屏的单晶生长炉。该带水冷热屏的单晶生长炉的炉体内设有水冷热屏，水冷热屏包括连接固定的呈倒锥形的水冷热屏内筒和水冷热屏外筒，且在水冷热屏内筒和水冷热屏外筒之间设有水道，水冷热屏内筒和水冷热屏外筒的上端还连接固定有连接体，水道的进口、出口分别通过连接体与进水管路、出水管路相连接。本实用新型能够更好地创造一个对结晶有利的温度空间，从而加快晶棒的结晶速度，缩短晶棒的生长时间，提高拉晶效率。 | ||
| 搜索关键词： | 水冷 生长 | ||
【主权项】：
带水冷热屏的单晶生长炉，包括石英坩埚，其特征在于，所述带水冷热屏的单晶生长炉的炉体内设有水冷热屏，水冷热屏设置在石英坩埚的上方，水冷热屏包括连接固定的水冷热屏内筒和水冷热屏外筒，水冷热屏内筒和水冷热屏外筒都呈倒锥形，且在水冷热屏内筒和水冷热屏外筒之间设有水道，水冷热屏内筒和水冷热屏外筒的上端还连接固定有连接体，水道的进口、出口分别通过连接体与进水管路、出水管路相连接。
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