[实用新型]生长石墨烯用石英平台有效
申请号: | 201320506706.6 | 申请日: | 2013-08-19 |
公开(公告)号: | CN203451615U | 公开(公告)日: | 2014-02-26 |
发明(设计)人: | 金虎;刘志成;周振义;彭鹏;王增奎 | 申请(专利权)人: | 常州二维碳素科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/24 | 分类号: | C23C16/24;C23C16/458;C30B25/12;C30B29/02 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 王美华 |
地址: | 213149 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及用于石墨烯生长工具的技术领域,尤其涉及一种生长石墨烯用石英平台,该平台用于放置在管状的石英舟中进行生长石墨烯,包括多块上下设置的石英平板、相邻石英平板之间设置有用于支撑石英平板的石英柱,最底部的石英平板下方设置有底座,所述底座的底部形状与石英舟内圈相匹配。本实用新型的有益效果是,本实用新型的生长石墨烯用石英平台结构简单,易于加工,成本较低,适合于工业化生产,其平板表面平整,无褶皱,大大提高转片的质量及石墨烯产品的合格率,对于生产平板触摸屏等中小面积的石墨烯产品,本实用新型生产的石墨烯在数量和质量上具有明显的优势。 | ||
搜索关键词: | 生长 石墨 石英 平台 | ||
【主权项】:
一种生长石墨烯用石英平台,该平台用于放置在管状的石英舟(1)中进行生长石墨烯,其特征在于:包括多块上下设置的石英平板(2)、相邻石英平板(2)之间设置有用于支撑石英平板(2)的石英柱(3),最底部的石英平板(2)下方设置有底座(4),所述底座(4)的底部形状与石英舟(1)内圈相匹配。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的