[实用新型]带密封功能的隔离门驱动器有效
| 申请号： | 201320509964.X | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN203430265U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 田华;曹伟刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | E05F15/02 | 分类号： | E05F15/02;F16J15/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带密封功能的隔离门驱动器，包括驱动器本体和一对撑杆，所述撑杆与所述隔离门固定连接，所述撑杆能相对所述驱动器本体移动，其特征在于，还包括压板和密封圈，所述压板上开设一对供所述一对撑杆穿越的通孔，所述压板固定设置于所述驱动器本体上，所述密封圈分别套设于所述撑杆上并位于所述压板和驱动器本体之间。通过压板在驱动器本体和撑杆的接缝处安装密封圈，可以防止驱动器本体内作为动力源的压力油经泄露，避免泄露的压力油污染反应腔室中的晶圆，确保产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 密封 功能 隔离 驱动器 | ||
【主权项】：
一种带密封功能的隔离门驱动器，包括驱动器本体和一对撑杆，所述撑杆与所述隔离门固定连接，所述撑杆能相对所述驱动器本体移动，其特征在于，还包括压板和密封圈，所述压板上开设一对供所述一对撑杆穿越的通孔，所述压板固定设置于所述驱动器本体上，所述密封圈分别套设于所述撑杆上并位于所述压板和驱动器本体之间。
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