[实用新型]一种实验室氨气等离子处理设备有效
申请号: | 201320517594.4 | 申请日: | 2013-08-22 |
公开(公告)号: | CN203540308U | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 袁焕春;袁向阳;张明豪 | 申请(专利权)人: | 苏州安科众达净化科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/32 | 分类号: | B01D53/32 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 连平 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种实验室氨气等离子处理设备,它包括氨气过滤装置(6),所述氨气过滤装置(6)通过管道与增压器(5)连接,所述增压器(5)通过管道与流量计(4)连接,所述流量计(4)通过管道与流量调节阀(3)连接,所述流量调节阀(3)通过管道与等离体反应器(1)连接,在流量调节阀(3)和等离体反应器(1)之间的管道上设置有加热器(2)。本实用新型可以防止实验室的废气对大气造成空气污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 实验室 氨气 等离子 处理 设备 | ||
【主权项】:
一种实验室氨气等离子处理设备,其特征在于:它包括氨气过滤装置(6),所述氨气过滤装置(6)通过管道与增压器(5)连接,所述增压器(5)通过管道与流量计(4)连接,所述流量计(4)通过管道与流量调节阀(3)连接,所述流量调节阀(3)通过管道与等离体反应器(1)连接,在流量调节阀(3)和等离体反应器(1)之间的管道上设置有加热器(2)。
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