[实用新型]一种薄膜体声波谐振器及一种滤波器、振荡器、射频模块有效
| 申请号： | 201320526762.6 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN203416228U | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 朱欣恩 | 申请（专利权）人： | 张家港恩达通讯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 215614 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器及一种滤波器、振荡器、射频模块，其中一种薄膜体声波谐振器包括衬底层（1）和制备于所述衬底层（1）上的环形功能层（2）；所述环形功能层（2）包括沿远离所述衬底层（1）方向设置的第一电极（201）、铁电材料层（202）和第二电极（203）；所述衬底层（1）上开设空气空腔（101），所述空气空腔（101）横向上面积大于所述环形功能层（2）外边界所围成的面积，其中的谐振器利用铁电材料的电致伸缩效应，通过改变外加直流电压的大小，控制铁电材料应力的变化，进而控制声波的速度，而谐振频率与声波速度成正比，从而控制谐振频率的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 滤波器 振荡器 射频 模块 | ||
【主权项】：
一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括衬底层（1）和制备于所述衬底层（1）上的环形功能层（2）；所述环形功能层（2）包括沿远离所述衬底层（1）方向设置的第一电极（201）、铁电材料层（202）和第二电极（203）；所述衬底层（1）上开设空气空腔（101），所述空气空腔（101）横向上面积大于所述环形功能层（2）外边界所围成的面积。
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