[实用新型]一种检测晶体缺陷的装置有效
| 申请号： | 201320527901.7 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN203465253U | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 张玉;曹建民;赵龙;宋旭宁;董永见 | 申请（专利权）人： | 河北宁晋松宫半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 055550 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种检测晶体缺陷的装置，包括盛有腐蚀液的腐蚀容器；还包括盛有恒温水的恒温水箱；所述腐蚀容器浸在恒温水中；所述恒温水箱中且在腐蚀容器的下方设有加热器和温度传感器；恒温水箱的外侧设有温控仪，加热器和温度传感器分别通过导线与温控仪连接。本实用新型可以有效调节并控制温度，并可设置温度上限、温度下限，保证酸泡腐蚀法工艺在25～30℃下进行，确保了酸泡蚀刻法硅片的反应速率，极大的提高了硅片位错显现率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 晶体缺陷 装置 | ||
【主权项】：
一种检测晶体缺陷的装置，包括盛有腐蚀液的腐蚀容器（1）；其特征在于：还包括盛有恒温水的恒温水箱（2）；所述腐蚀容器（1）浸在恒温水中；所述恒温水箱（2）中且在腐蚀容器（1）的下方设有加热器（3）和温度传感器（4）；恒温水箱（2）的外侧设有温控仪（6），加热器（3）和温度传感器（4）分别通过导线与温控仪（6）连接。
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