[实用新型]电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的装置

摘要

本实用新型涉及一种电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的装置，包括炉体，其特征在于炉体中设有电子束熔炼组件和定向凝固组件，其中：电子束熔炼组件包括位于炉体内上部的带有水冷的熔化坩埚，该熔化坩埚一侧带有凹形熔化池，熔化池口至熔化坩埚的另一侧为向下倾斜的导流区域；位于熔化坩埚上方的炉体顶部通连有熔化用电子枪和熔炼用电子枪，位于熔化坩埚的熔化池一侧的炉体侧壁通连有送料机构，该送料机构的出料口位于熔化池上方；定向凝固组件包括位于炉体下部的凝固坩埚，凝固坩埚向外依次包围设置有石墨发热体和保温套筒，凝固坩埚底部设置有与炉体底部通连的水冷拉锭旋转机构。该装置能更加高效地去除硅中的磷杂质和金属杂质，同时，降低生产过程中的总能耗。

主权项

一种电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的装置，包括炉体，其特征在于炉体中设有电子束熔炼组件和定向凝固组件，其中：电子束熔炼组件包括位于炉体内上部的带有水冷的熔化坩埚，该熔化坩埚一侧带有凹形熔化池，熔化池口至熔化坩埚的另一侧为向下倾斜的导流区域；位于熔化坩埚上方的炉体顶部通连有熔化用电子枪和熔炼用电子枪，位于熔化坩埚的熔化池一侧的炉体侧壁通连有送料机构，该送料机构的出料口位于熔化池上方；定向凝固组件包括位于炉体下部的凝固坩埚，凝固坩埚向外依次包围设置有石墨发热体和保温套筒，凝固坩埚底部设置有与炉体底部通连的水冷拉锭旋转机构，其中，该凝固坩埚位于导流区域的倾泻口的下方，且倾泻口正下方位置相对应的保温套筒处开设有通孔。