[实用新型]区熔热场线圈监测台有效
| 申请号： | 201320532595.6 | 申请日： | 2013-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN203465066U | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 靳立辉;姚长娟;闫耀东;卢君;刘旭光;于书翰;王国瑞;贾弘源;张磊 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26;G01C9/00;G01B21/00 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种对区熔热场线圈进行压力、水平、平整度对中等重要参数进行检测的区熔热场线圈监测台。包括检测台底座、监测台面、进水管、检测台水平调整螺丝，检测台底座及监测台面均为矩形板状，监测台面垂直的固定在检测台底座面上，在检测台底座面上设有三个检测台水平调整螺丝，在监测台面上设有数组定位螺丝孔和进水孔，数个进水管在监测台面一侧分别与数组中的进水孔螺接在一起。效果是：本实用新型是对模拟线圈在区熔热场炉拉制单晶之前的安装校准，并对其进行严格的检测，避免了在使用过程中漏水、倾斜、安装偏心等问题。节省了安装工时。 | ||
| 搜索关键词： | 区熔热场 线圈 监测 | ||
【主权项】：
一种区熔热场线圈监测台，其特征在于：包括检测台底座（1）、监测台面（2）、进水管（3）、检测台水平调整螺丝（4），所述检测台底座（1）及监测台面（2）均为矩形板状，所述监测台面（2）垂直的固定在检测台底座（1）面上，在检测台底座（1）面上设有三个检测台水平调整螺丝（4），在监测台面（2）上设有数组定位螺栓孔（2‑1）和进水孔（2‑2），数个所述进水管（3）在监测台面（2）一侧分别与数组中的进水孔（2‑2）螺接在一起。
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