[实用新型]一种用于单晶炉重掺砷杂质的挥发器装置有效
| 申请号： | 201320535991.4 | 申请日： | 2013-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN203474956U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张学强;黄永恩;范全东 | 申请（专利权）人： | 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人： | 李羡民;周晓萍 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 种用于单晶炉重掺砷杂质的挥发器装置，特别之处是，它包括第一高压桶和位于第一高压桶内的载料舟，所述第一高压桶外廓为圆柱形，其内部为中空结构，第一高压桶的顶部封闭、底部为通透的环形平面，在第一高压桶底部均匀分布气体通道。本实用新型使用时，各高压筒底部全部浸入熔硅中，气体通道部分露出熔硅表面，使挥发器装置内的气体有均匀配置的溢出口，防止挥发器与熔硅接触时，因挥发器内砷合金挥发时的气压升高造成挥发器抖动过激造成事故，有效解决了因气体空间的剧烈变化而产生的掺杂效率低的问题。采用本实用新型的有益效果是：明显减少了耗材用量，提高了杂质利用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶炉重掺砷 杂质 挥发 装置 | ||
【主权项】：
一种用于单晶炉重掺砷杂质的挥发器装置，其特征在于，它包括第一高压桶（4）和位于第一高压桶内的载料舟（6），所述第一高压桶外廓为圆柱形，其内部为中空结构，第一高压桶的顶部封闭、底部为通透的环形平面，在第一高压桶底部均匀分布气体通道（9）。
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