[实用新型]一种定向凝固尾料快速收集提纯多晶硅的设备

摘要

实用新型涉及一种定向凝固尾料快速收集提纯多晶硅的设备，该设备石墨板置于水冷盘顶端，石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接，另一端与石墨托盘嵌套连接，坩埚置于石墨托盘上，石墨发热体套于坩埚外围，碳毡保温桶套于石墨发热体外，石墨弯管上端固定安装于伸缩杆上，且其下端穿过碳毡保温盖置于坩埚正上方中心位置，石墨弯管上端开口处通过连接器与石墨导管中部开口密封连接，石墨导管上端密封活动安装于真空腔室顶端，水冷收集箱密封固定安装于真空腔室侧壁上，石墨弯管下端开口与水冷收集箱密封活动连接。本实用新型的设备改造安装方便，能有效去除铸锭尾部富集的杂质，该尾料收集装置可以重复的使用。

主权项

一种定向凝固尾料快速收集提纯多晶硅的设备，由真空腔室（2）构成外壁，外壁上安装有真空管路（15），真空管路（15）一端与真空泵组（14）相连，其特征是：外壁上固定安装有通气管路（13），水冷盘（12）活动安装于真空腔室（2）底部，石墨板（11）置于水冷盘顶端，石墨板（11）上开有孔，石墨支柱（10）一端通过孔与石墨板（11）嵌套连接，另一端与石墨托盘（9）嵌套连接，坩埚（7）置于石墨托盘（9）之上，石墨发热体（6）套于坩埚外围且固定于真空腔室（2）侧壁，碳毡保温桶（4）套于石墨发热体（6）之外且固定于真空腔室（2）侧壁，碳毡保温盖（3）上开有孔，置于碳毡保温桶（4）顶端，感应线圈（5）套于碳毡保温桶（4）之外，且固定于真空腔室（2）侧壁之上，石墨弯管（1）上端固定安装于伸缩杆（22）之上，且其下端穿过碳毡保温盖（3）置于坩埚正上方中心位置，石墨弯管（1）上端开口处通过连接器（19）与石墨导管（18）中部开口密封连接，石墨导管上端密封活动安装于真空腔室（2）顶端，其上端开口通过阀门（20）与真空抽取装置密封连接，水冷收集箱（17）密封固定安装于真空腔室（2）侧壁上，石墨弯管（1）下端开口与水冷收集箱（17）密封活动连接。