[实用新型]半导体元件的镀锅有效
申请号: | 201320545271.6 | 申请日: | 2013-09-03 |
公开(公告)号: | CN203546139U | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 呙昇华 | 申请(专利权)人: | 跃澐科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;H01L21/673 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人: | 陈践实 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型为一种半导体元件的镀锅,该镀锅由下本体与上本体叠合组成,其中该下本体开设有数个下开口,各下开口中设有承载环,承载环提供半导体元件摆置;又位于下本体上方的上本体亦开设有数个上开口,各上开口对应于下开口的位置,该各上开口旁设置有压制元件且伸探至上开口范围内。本实用新型,组置于下开口内的半导体元件能被上本体的压制元件稳定压制、无法任意弹出,以确保制程的顺利。本实用新型提供了一种理想的镀锅,不但兼顾产能,且定位效果相当理想。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 | ||
【主权项】:
一种半导体元件的镀锅,其特征在于,包括:一个下本体,该下本体开设有数个下开口;一个上本体,该上本体叠合于下本体上方;该上本体,开设有数个上开口,该上开口的位置对应于该下开口的位置;该各上开口旁,设置有压制元件;该压制元件包括有一个压制体,且各压制体伸探位于该上开口范围内部。
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