[实用新型]处理平坦基板的装置

摘要

本实用新型涉及平坦基板的处理领域，具体涉及处理平坦基板的装置。本实用新型特别涉及使用彼此不同的液体，进行固定于保持装置的平坦基板（尤其是硅片等）的处理以及平坦基板自保持装置剥离的准备。本实用新型的处理平坦基板的装置具有：收纳液体的槽（1）、改变保持装置（3）和槽（1）之间的垂直距离的装置（2）、分别向槽（1）内供给适用于进行所述平坦基板（4）的处理或剥离平坦基板（4）的准备的至少二种液体的机构、以及优选的从所述槽（1）除去液体的机构。

主权项

一种处理平坦基板的装置，所述装置使用彼此不同的液体，进行固定于保持装置（3）的平坦基板（4）的处理，并进行所述平坦基板（4）自所述保持装置（3）剥离的准备，其特征在于，具有： 收纳液体的槽（1）； 改变所述保持装置（3）和所述槽（1）之间的垂直距离的装置（2）； 向所述槽（1）内分别供给适用于进行所述平坦基板（4）的处理或剥离所述平坦基板（4）的准备的至少二种液体的机构。