[实用新型]用于LED曝光机的光学检测装置及LED曝光机有效
| 申请号： | 201320561274.9 | 申请日： | 2013-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN203414734U | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 张方德;王玉璋;贺兴志;谢桂平 | 申请（专利权）人： | 浙江欧视达科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01R31/44;G01M11/02 |
| 代理公司： | 温州金瓯专利事务所(普通合伙) 33237 | 代理人： | 王坚强 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市高新技*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于LED曝光机的光学检测装置以及LED曝光机，其包括安装在LED曝光机两侧的Y向轨道、与Y向轨道滑移配合的X向轨道以及与X向轨道滑移配合的光学检测探头，所述Y向轨道上设有驱动X向轨道沿Y向轨道滑移的驱动装置，所述X向轨道上设有驱动光学检测探头沿X向轨道滑移的驱动装置，本实用新型通过X向轨道与Y向轨道，实现探头在轨道允许范围内对光源进行逐颗检查，通过光学检测探头检测其光衰，判断光源是否正常，保证曝光机的曝光有效性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 led 曝光 光学 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种用于LED曝光机的光学检测装置，其特征在于：其包括安装在LED曝光机两侧的Y向轨道（4）、与Y向轨道（4）滑移配合的X向轨道（2）以及与X向轨道（2）滑移配合的光学检测探头（1），所述Y向轨道（4）上设有驱动X向轨道（2）沿Y向轨道（4）滑移的驱动装置，所述X向轨道（2）上设有驱动光学检测探头（1）沿X向轨道（2）滑移的驱动装置。
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