[实用新型]保护硅片表面不损伤的太阳能硅片用夹具

摘要

本实用新型公开一种保护硅片表面不损伤的太阳能硅片用夹具，包括底座，上顶板，所述的底座与上顶板之间通过第一支撑杆相连接，其特征在于：所述的底座上表面固定有硅片固定夹板，所述的上顶板下方通过第一螺栓固定有硅片活动夹板；所述的硅片固定夹板与硅片活动夹板相平行，且硅片固定夹板与硅片活动夹板各相邻两侧边外侧设有用于硅片抵靠的第二支撑杆。采用上述结构，当将硅片按顺序放置叠加在硅片固定夹板上，硅片相邻两侧边与支撑杆抵靠，然后旋转第一螺栓使得硅片活动夹板下移压紧硅片，从而实现硅片彼此间压紧无间隙，在刻蚀过程有效保护硅片表面不损伤的优点。采用上述夹具，压力均匀，压的紧实，且效率高。

主权项

一种保护硅片表面不损伤的太阳能硅片用夹具，包括底座（1），上顶板（2），所述的底座（1）与上顶板（2）之间通过第一支撑杆（3）相连接，其特征在于：所述的底座（1）上表面固定有硅片固定夹板（4），所述的上顶板（2）下方通过第一螺栓（6）固定有硅片活动夹板（5）；所述的硅片固定夹板（4）与硅片活动夹板（5）相平行，且硅片固定夹板（4）与硅片活动夹板（5）各相邻两侧边外侧设有用于硅片抵靠的第二支撑杆（9）。