[实用新型]晶舟固定弹片

摘要

一种晶舟固定弹片，设置于一外盒体内，该外盒体还具有一晶舟，该晶舟固定弹片则位于该外盒体内侧与该晶舟的顶侧所夹空间，该晶舟用以承载复数个晶圆，本实用新型的特征在于，其为中空框状，且顶端与底端分别具有一第一连接部与一第二连接部，该第一连接部设有一顶抵柱，以与该外盒体连接固定，该第二连接部则设有一滚轮，并与该晶舟的该顶侧相靠抵，藉由该滚轮的滚动作用，于该晶舟晃动时随之移动，减少搬运中该晶舟因晃动而与该晶舟固定弹片的摩擦，与摩擦后产生的微粒或粉屑，避免污损晶圆，且可延长晶舟与晶舟固定弹片的使用寿命。

主权项

一种晶舟固定弹片，是设置于一外盒体内部，且该外盒体内还具有一晶舟，该晶舟固定弹片则位于该外盒体内侧与该晶舟的一顶侧间，而该晶舟是用以承载复数片晶圆，其特征在于： 该晶舟固定弹片为中空框状，且其顶端与底端是分别具有一第一连接部与一第二连接部，该第一连接部设有一顶抵柱，供以与该外盒体连接固定，该第二连接部是设有一滚轮，且该滚轮是与该晶舟的该顶侧接触，以减少搬运中该晶舟因晃动而与该晶舟固定弹片摩擦所产生的微粒。